よりクリーンな真空環境により、実験および製造上の利益がもたらされます

ANCORP と LOS Vacuum Products の新たなパートナーシップにより、科学者やエンジニアはアルミニウムとチタンの特性を活用してプロセスの真空条件を最適化できるようになります。

科学技術が新たな限界を打ち破り続ける中、各用途のニーズに合わせて調整できる、よりクリーンで制御可能な真空環境に対する需要が高まっています。 量子物理学の精密な実験であれ、コンピューターチップの大量生産であれ、科学者やエンジニアは、アプリケーションの制約内で作業しながら超高真空 (UHV) または極高真空 (XHV) 条件を達成できる高性能装置を探しています。 。

ステンレス鋼製の真空システムは引き続きほとんどのプロセスで選択される技術ですが、UHV または XHV 条件を必要とする特殊なアプリケーションでは、アルミニウムやチタンなどの代替材料が提供する特性の恩恵を受けることができます。 たとえば、粒子加速器を備えた研究センターでは、アルミニウムがステンレス鋼よりも効率的に放射線を散逸させるため、ビームラインシステムにアルミニウムが一般的になっています。 また、残留磁気も少なく、ビームの操作に使用される強力な磁場への影響を最小限に抑えます。

「より多くの科学者やエンジニアが、UHV または XHV プロセスにアルミニウムやチタンを使用する利点を実感しています」と、米国に本拠を置く真空チャンバー、バルブ、コンポーネントのメーカー ANCORP のビジネス開発担当副社長である Tom Bogdan 氏はコメントしています。 「大規模な科学施設と研究開発コミュニティは、これらの先進技術のための豊かな環境を提供していますが、商業部門も高精度製造のためのプロセス条件を改善するためにアルミニウムを使用し始めています。」

ANCORP は独自の真空装置ラインを設計および製造しており、ステンレス鋼からカスタマイズされたチャンバーを構築するための専用施設も確立しています。 現在、同社は、アルミニウムとチタンからの真空ハードウェアの製造を専門とする LOS Vacuum Products と提携し、顧客が UHV および XHV プロセスでこれらの高性能材料を活用できるようにしています。 「これは、顧客に高性能の真空ソリューションを提供することに重点を置いている 2 社間の素晴らしいパートナーシップです」と Bogdan 氏はコメントしています。 「LOS Vacuum は世界市場とのつながりを築く当社の能力から恩恵を受けるでしょうが、当社は LOS Vacuum の独自の技術を当社の製品ポートフォリオに追加することで利益を得ることができます。」

LOS Vacuum Products は、UHV および XHV アプリケーション向けの特注真空チャンバーを設計および構築するために 2013 年に設立されました。 「よりクリーンでより正確な技術開発に対する要求の高まりに応えるために、アルミニウムとチタンの人気が高まっています」と同社の創設者兼オーナーのエリック・ジョーンズ氏は述べています。 当初の需要は主に研究コミュニティからのものでしたが、ジョーンズ氏は、医療システムや太陽電池生産の新興市場だけでなく、半導体セクターをターゲットとする機器メーカーからの関心も高まっていると報告しています。 「これらのテクノロジーが成長するにつれて、真空環境が非常に重要になります」と彼は言います。

アルミニウムの主な利点の 1 つは、ステンレス鋼よりも機械加工が速くて簡単であるため、特注の機能を設計に組み込む際の柔軟性が高いことです。 また、その優れた熱伝導率により、アルミニウム チャンバーはより速く、より均一に加熱され、UHV または XHV 条件を達成するために必要なベークアウト プロセスが高速化されます。 「真空チャンバーの表面からガス分子や汚染物質を脱離させるには、ステンレス鋼をより高温にする必要があり、それには長期間にわたってより多くのエネルギーが必要になります」とジョーンズ氏は説明します。 「アルミニウムは所有コストと環境への影響の両方を削減し、製造性の向上と相まって、半導体分野にとって魅力的な選択肢となっています。」

一方、チタン製の真空チャンバーは、強度と重量に優れているため、高調波の生成の恩恵を受けるプロセスの安定性が向上し、磁気を排除する必要がある用途にも好まれているため、量子物理学の実験に適した選択肢となります。信号。 チタンは、UHV または XHV 環境でステンレス鋼を使用する際の一般的な汚染物質である水素を吸収するためのゲッターとしても機能します。これにより、チタン真空システムは約 10 ～ 13 Torr までの XHV 条件をサポートできるようになります。